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日立ハイテク、IoT・車載半導体向けに暗視野式ウェハ欠陥検査装置を発売 – マイナビニュース

 
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日立ハイテク、IoT・車載半導体向けに暗視野式ウェハ欠陥検査装置を発売. 2022/06/07 18:27 … 日立ハイテク、顧客向けデモ・協創の新拠点をひたちなか市に.

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日立ハイテク、IoT・車載半導体向けに暗視野式ウェハ欠陥検査装置を発売
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日立ハイテクは、半導体デバイスの欠陥検査に必要な暗視野式ウェハ欠陥検査装置「DI2800」を発売した。同製品は8インチ以下のウェハ上のパターン形状製造工程で発生する欠陥や異物を高速で検出する機能を搭載しているとのことだ。

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